用于開(kāi)關(guān)設(shè)備中的空氣和氮?dú)獬檎婵蘸弯撈砍錃?。系統(tǒng)抽真空速率40~100m3/h范圍可選,最終真空度<2x10-3mbar~1mbar,并配有高精度真空傳感器。